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光刻技術(shù)是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。

光刻膠領(lǐng)域取得新突破

據(jù)科技日報(bào)，近日，北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團(tuán)隊(duì)及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。相關(guān)論文近日刊發(fā)于《自然·通訊》。

“顯影”是光刻的核心步驟之一，通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。光刻膠如同刻畫電路的顏料，它在顯影液中的運(yùn)動，直接決定電路畫得準(zhǔn)不準(zhǔn)、好不好，進(jìn)而影響芯片良率。長期以來，光刻膠在顯影液中的微觀行為是“黑匣子”，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復(fù)試錯(cuò)，這成為制約7納米及以下先進(jìn)制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一。

為破解難題，研究團(tuán)隊(duì)首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維“全景照片”，一舉克服了傳統(tǒng)技術(shù)無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點(diǎn)。

彭海琳表示，冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強(qiáng)大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為，可推動先進(jìn)制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。

中國光刻膠市場增速超過全球

光刻膠是半導(dǎo)體工藝中不可或缺的重要材料。當(dāng)下的全球光刻膠市場，幾乎被來自日本的JSR、東京應(yīng)化、信越化學(xué)、富士電子等企業(yè)所瓜分，也讓日本在全球半導(dǎo)體制造鏈中占據(jù)著舉足輕重的地位，這都源于日本長久以來的積累。近些年來，中國企業(yè)在光刻膠領(lǐng)域持續(xù)取得技術(shù)突破，市場份額穩(wěn)步提升。

據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）統(tǒng)計(jì)，2024年全球光刻膠市場規(guī)模達(dá)27.32億美元，同比增長16.15%；2024 年中國大陸半導(dǎo)體光刻膠市場規(guī)模7.71億美元，達(dá)到歷史新高，成為全球最大的光刻膠市場，同比增長42.25%，增速遠(yuǎn)超同期全球市場。

根據(jù)SEMI《世界晶圓廠預(yù)測》報(bào)告顯示，2025年全球7nm以下節(jié)點(diǎn)晶圓產(chǎn)能將增長16%，依舊是增長速度最快的制程節(jié)點(diǎn)；除此之外，8~45nm節(jié)點(diǎn)、50nm以上節(jié)點(diǎn)、DRAM、3DNAND等工藝制程晶圓產(chǎn)能將分別增長6%、5%、7%、5%。先進(jìn)制程的高速增長將促進(jìn)KrF、ArF以及EUV光刻膠依舊保持著高速增長的態(tài)勢。

融資客盯上5只概念股

從已公布的2025年前三季度業(yè)績數(shù)據(jù)來看，數(shù)據(jù)寶統(tǒng)計(jì)，按照三季報(bào)、業(yè)績快報(bào)、預(yù)告凈利潤下限計(jì)算（無下限則取公告數(shù)值），11只光刻膠概念股前三季度凈利潤同比增長（含扭虧為盈），包括晶瑞電材、久日新材、瑞聯(lián)新材、艾森股份、鼎龍股份等。

晶瑞電材凈利潤增速最高，公司今年前三季度實(shí)現(xiàn)凈利潤1.28億元，同比增長192.03倍，主要系本期產(chǎn)品毛利上漲，交易性金融資產(chǎn)價(jià)格波動所致。公司的光刻膠及高純化學(xué)品已用于存儲芯片制造。

久日新材今年前三季度實(shí)現(xiàn)凈利潤272萬元，同比扭虧為盈。報(bào)告期內(nèi)，公司穩(wěn)步實(shí)現(xiàn)了部分光引發(fā)劑產(chǎn)品提價(jià)策略落地，非經(jīng)常性損益為1003萬元。目前公司的主要產(chǎn)品有光引發(fā)劑、半導(dǎo)體i-線光刻膠、發(fā)光二極管g-線/h-線光刻膠、面板光刻膠以及光刻膠用重氮萘醌類光敏劑、肟酯類引發(fā)劑、沒食子酸類產(chǎn)品等。

瑞聯(lián)新材預(yù)計(jì)2025年前三季度凈利潤為2.81億元，同比增長51.54%。報(bào)告期內(nèi)，顯示材料板塊保持平穩(wěn)發(fā)展，為公司整體業(yè)績提供了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。醫(yī)藥與電子材料板塊營業(yè)收入實(shí)現(xiàn)較大幅度增長，提升了公司整體營收規(guī)模，有效推動了公司凈利潤水平的提升。目前公司儲備有多款光刻膠材料產(chǎn)品，部分光刻膠單體材料已量產(chǎn)，部分產(chǎn)品處于客戶驗(yàn)證階段。

資金面上，數(shù)據(jù)寶統(tǒng)計(jì)，截至10月23日，10月以來融資凈買入超1億元的光刻膠概念股有5只，分別為雅克科技、新萊應(yīng)材、圣泉集團(tuán)、華懋科技、湖北宜化。

雅克科技10月以來融資凈買入額5.38億元，排在第一位。公司是國內(nèi)顯示光刻膠行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的供應(yīng)商，同時(shí)擁有紅綠藍(lán)彩色光刻膠、TFT-PR 光刻膠和OC/PS 封裝透明光刻膠等多個(gè)品類，廣泛運(yùn)用在超薄大尺寸液晶顯示器（LCD）和有機(jī)發(fā)光顯示器（OLED）。